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基于功率谱密度分析真空吸盘对加工KDP晶体表面的影响
由于KDP(KH2PO4)晶体硬度低的特性,在利用单点金刚石切削技术对其进行加工的过程中,所使用的真空吸盘夹具会在其加工表面产生周期性波......
期刊
光学制造
KDP晶体
真空吸盘
功率谱密度
表面波纹度
optical fabrication
KDP crystal
vacuum chuck
power s
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